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技術(shù)文章

半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體ppb微量氧氣分析儀應(yīng)用美國SOUTHLAND SENSING-OMD-677-1

    在半導(dǎo)體等電子工業(yè)中,如成電路芯片廠在加工和封裝中高純和超純氣體作為保護(hù)氣和置換氣。高純氣體作為半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品加工過程的特種氣體的質(zhì)量保障,美國southland sensing公司的微量氧分析儀OMD-677-1測量半導(dǎo)體、電子保護(hù)氣中的超低量氧氣含量,廠家直接用于半導(dǎo)體氣體中的微量氧含量檢測。

    一般來說在電子級氣體中的微量水和微量氧含量等雜質(zhì)的要求一般要小于5000-10000ppb,正因為對于氣體如此高的純度要求,為了保障氣體的純度,美國southland sensing公司的OMD-677-1痕量氧分析儀(超微量氧分析儀)得到了廣泛的使用和認(rèn)可。

OMD-677-1在線微量氧氣分析儀應(yīng)用:

空氣液化和分離

石油化工、電子電力等行業(yè)中高純氧的分析;

空分高純氧監(jiān)測;

冶煉行業(yè);

醫(yī)療衛(wèi)生行業(yè);

微電子、半導(dǎo)體、航天及軍工等領(lǐng)域;

制氫/制氮/C02設(shè)備,凈化/干燥設(shè)備等 


OMD-677 -1在線微量氧氣分析儀參數(shù)

不銹鋼外殼、防水、防塵、防酸按鍵

精 度:<±1%

分辨率:0.001ppm

量程范圍:

0-1ppm,0 - 10ppm, 0 - 100ppm, 0 - 1000ppm,  0 - 25%

量程自動或者手動調(diào)節(jié)

應(yīng) 用:對惰性氣體,碳?xì)錃怏w,He,H2,CO2中的氧含量進(jìn)行PPM分析 ,是測量

H2 ,N2 ,Ar ,He ,乙炔, 乙烯,丁二烯,CO2 ,CnHm 及其它氣體中氧含

量的理想儀器。

報 警:2路繼電器報警輸出 

標(biāo) 定:使用濃度大約為80%量程經(jīng)過認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)氣體 

補(bǔ) 償:壓力和溫度 

接 口:1/8"卡套接頭 

控 制:量程選擇開關(guān),防水鍵,標(biāo)定及系統(tǒng)功能 

顯 示:大屏幕液晶背光顯示;分辨率:0.01ppm;
流量:0.25-2.5 L/M,推薦流量:1 L/M 

線 性:>.995超過所有量程 

壓 力:進(jìn)樣0-3Mpa;排空-大氣壓 

電 源:220VAC,50Hz 

響應(yīng)時間:90%滿量程為15秒 
靈 敏 度:<0.5%滿量程 
傳感器型號:

 (TO2-1x):微量ppm;(TO2-2x)微量ppm當(dāng)CO2H2S>0.5%時,免維護(hù)

 (PO2-160): 百分比; (PO2-24)百分比當(dāng)CO2H2S>0.5%時,免維護(hù) 

傳感器壽命:24個月,25℃ 
輸 出:4-20mA ,RS485RS232
溫度范圍:5-45℃;TO2系列傳感器﹞;-20-45℃﹝PO2系列傳感器﹞ 
質(zhì) 保 期:12個月,包括分析儀和傳感器 


系統(tǒng)配置:減壓閥、水氣分離器、過濾器、精密過濾器器、自動疏水器、快速吹掃旁路、穩(wěn)壓小流量計、安全閥等

美國SOUTHLAND SENSING在線ppm百分比氧氣分析儀,每一款都可以多種量程可選0.01ppm-100%;微量氧氣、百分比

氣、氧氣純度分析----OMD-507OMD-150OMD-150-NG本安防爆OMD-625本安防爆;OMD-425(0-

100%);OMD-525;OMD-401D(0-00%);OMD-501D;OMD-150-1(0-1PPM);OMD-675-1(0-1PPM);;OMD-675-

10;OMD-677-1(0-1PPM);;OMD-677-10輸出方式可選:4-20mA,MODBUS RS485RS232ASCII等通信方式


便攜氧氣分析儀:OMD-480百分比;OMD-480P百分比帶泵;OMD-580微量氧氣OMD-580P微量氧氣帶泵;OMD-640(0-1ppm)


硫化氫分析儀H2S-725微量防爆;H2S-150-NG防爆;H2S-150;H2S-780量程0-10、50、100、200ppm;0-100、500、1000、2000ppm

燃料電池傳感器:



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